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       1859年Kirchhoof研究太陽光譜時就開始了原子熒光理論的研究背景下。 1902年Wood等首先觀測到了鈉的原子熒光求得平衡。

       1912年WOOD年用汞弧燈輻照汞蒸氣觀測汞的原子熒光高效節能。Nichols和Howes用火焰原子化器測到了鈉、鋰同期、鍶、鋇和鈣的微弱原子熒光信號，Terenin研究了鎘不可缺少、鉈、鉛特點、鉍積極回應、砷的原子熒光。

       1934年Mitchll和Zemansky對早期原子熒光研究進行了概括性總結(jié)。1962年在阿克瑪?shù)?span>(Alkemade)介紹了原子熒光量子效率的測量方法1964年威博尼爾明確提出火焰原子熒光光譜法可以作為一種化學分析方法有所提升，并且導出了原子熒光的基本方程式聽得進，進行了汞、鋅和鎘的原子熒光分析先進水平。

       1971年Larkins用空心陰極燈作光源便利性，火焰原子化器，采用瀘光片分光足夠的實力，光電倍增管檢測緊迫性。

       1976年Technicon公司推出了世界上第一臺原子熒光光譜儀AFS-6。（該儀器采用空心陰極燈作光源更適合，同時測定6個元素高效，短脈沖供電，計算機作控制和數(shù)據(jù)處理要素配置改革。由于儀器造價高體系，燈壽命短，且多數(shù)被測元素的靈敏度不如AAS和ICP-AES帶動產業發展，該儀器未能成批投產(chǎn)責任製，被稱之為短命的AFS-6。）

X熒光光譜儀國外發(fā)展趨勢

       20世紀80年代初倍增效應，美國Baird公司推出了AFS-2000型ICP-AFS儀器規則製定。該儀器采用脈沖空心陰極燈作光源，電感耦合等離子體(ICP)作原子化器優化服務策略，光電倍增管檢測關規定，12道同時測量，計算機控制和數(shù)據(jù)處理兩個角度入手。該產(chǎn)品由于沒有突出的特點建強保護，多道同時測定的折衷條件根本無法滿足，性能/價格比差生產效率，在激烈的市場競爭中遭到無情的淘汰使命責任。

       20世紀90年代，英國PSA公司開始生產(chǎn)HG-AFS使用。

       21世紀初加拿大AURORA開始生產(chǎn)HG-AFS合規意識。